{"id":8614,"date":"2021-08-14T15:06:00","date_gmt":"2021-08-14T13:06:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.institut-foton.eu\/?p=8614"},"modified":"2025-04-22T12:30:19","modified_gmt":"2025-04-22T10:30:19","slug":"equipex-nanofutur-investissements-en-nanofabrication-pour-les-nanotechnologies-du-futur","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.institut-foton.eu\/en\/equipex-nanofutur-investissements-en-nanofabrication-pour-les-nanotechnologies-du-futur\/","title":{"rendered":"EQUIPEX NANOFUTUR: Investissements en NANOfabrication pour les nanotechnologies du FUTUR"},"content":{"rendered":"\n
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ao\u00fbt 2021 \u2013 ao\u00fbt 2027<\/p>\n\n\n\n

EquipEx+ (ANR-21-ESRE-0012) <\/p>\n<\/div>\n\n\n\n

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Cofinancements:<\/p>\n\n\n\n

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Contexte<\/h2>\n\n\n\n

NANOFUTUR, projet d\u2019investissement, est port\u00e9 par la communaut\u00e9 acad\u00e9mique fran\u00e7aise des nanotechnologies et f\u00e9d\u00e8re le r\u00e9seau RENATECH+ (5 centrales RENATECH et 28 centrales r\u00e9gionales r\u00e9cemment associ\u00e9es). Le r\u00e9seau RENATECH+, pilot\u00e9 par le CNRS, comprend aujourd\u2019hui des unit\u00e9s mixtes associant le CNRS, le CEA ainsi que des universit\u00e9s et des \u00e9coles d\u2019ing\u00e9nieur. NANOFUTUR a identifi\u00e9 les \u00e9quipements, majeurs pour la communaut\u00e9 scientifique fran\u00e7aise, permettant de rester comp\u00e9titif afin de relever des d\u00e9fis en nanofabrication et nanotechnologies de la d\u00e9cennie \u00e0 venir : 1) en photonique pour le traitement de l\u2019information, (2) en spintronique, (3) pour les technologies TeraHertz, (4) pour les nanobiotechnologies, (5) pour les capteurs en environnement s\u00e9v\u00e8re et (6) en nano-manipulation et nano-assemblage.<\/p>\n\n\n\n

C\u2019est dans ce cadre que se situe le projet d\u2019implantation d\u2019un cluster d\u2019\u00e9pitaxie \u00e0 l\u2019Institut FOTON. L\u2019objectif principal est de connecter sous ultra-vide aux \u00e9quipements existants une nouvelle chambre de croissance de semi-conducteurs \u00e0 source gazeuse, en \u00e9pitaxie par jets mol\u00e9culaire, ainsi qu\u2019une chambre de pr\u00e9paration hydrog\u00e8ne. Le nouveau cluster de croissance cristalline ainsi form\u00e9, constitu\u00e9 de deux chambres d\u2019\u00e9pitaxie de semi-conducteurs III-V phosphures, une chambre d\u2019\u00e9pitaxie du silicium et d\u2019une chambre de pr\u00e9paration hydrog\u00e8ne se positionnera comme un \u00e9quipement de pointe en Europe pour la r\u00e9alisation de composants photoniques et dans le domaine de l\u2019\u00e9nergie.<\/p>\n\n\n\n

Ce projet b\u00e9n\u00e9ficie de co-financements importants des tutelles CNRS, INSA Rennes, du PEPR Electronique, et de Rennes m\u00e9tropole.<\/p>\n\n\n\n

Production scientifique<\/h2>\n\n\n
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Contact<\/h3>\n\n