août 2021 – août 2027
EquipEx+ (ANR-21-ESRE-0012)
Cofinancements:
Contexte
NANOFUTUR, projet d’investissement, est porté par la communauté académique française des nanotechnologies et fédère le réseau RENATECH+ (5 centrales RENATECH et 28 centrales régionales récemment associées). Le réseau RENATECH+, piloté par le CNRS, comprend aujourd’hui des unités mixtes associant le CNRS, le CEA ainsi que des universités et des écoles d’ingénieur. NANOFUTUR a identifié les équipements, majeurs pour la communauté scientifique française, permettant de rester compétitif afin de relever des défis en nanofabrication et nanotechnologies de la décennie à venir : 1) en photonique pour le traitement de l’information, (2) en spintronique, (3) pour les technologies TeraHertz, (4) pour les nanobiotechnologies, (5) pour les capteurs en environnement sévère et (6) en nano-manipulation et nano-assemblage.
C’est dans ce cadre que se situe le projet d’implantation d’un cluster d’épitaxie à l’Institut FOTON. L’objectif principal est de connecter sous ultra-vide aux équipements existants une nouvelle chambre de croissance de semi-conducteurs à source gazeuse, en épitaxie par jets moléculaire, ainsi qu’une chambre de préparation hydrogène. Le nouveau cluster de croissance cristalline ainsi formé, constitué de deux chambres d’épitaxie de semi-conducteurs III-V phosphures, une chambre d’épitaxie du silicium et d’une chambre de préparation hydrogène se positionnera comme un équipement de pointe en Europe pour la réalisation de composants photoniques et dans le domaine de l’énergie.
Ce projet bénéficie de co-financements importants des tutelles CNRS, INSA Rennes, du PEPR Electronique, et de Rennes métropole.
Production scientifique
Documents récupérés de l'archive ouverte HAL 
Partenaires
Réseau RENATECH+
Coordinateur
Michel DE LABACHELERIE (CNRS-INSIS)
Financement
ANR (17.5 M€, iFOTON: 1.1 M€)
Projet total iFOTON incluant les cofinancements: 1.5 M€
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